全自動(dòng)離子濺射儀產(chǎn)品參數(shù):
1.腔體尺寸:石英玻璃,直徑150mm*高度130mm
2.供電規(guī)格:AC220V,200w
3.適用靶材:貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pd 常規(guī)金屬Cu、W、Ag 、Cr 等
4.樣品臺(tái)可調(diào)高度:20~50mm
5.樣品臺(tái)尺寸:直徑55mm
6.工作真空度:1~10Pa
7.氣體路數(shù):?jiǎn)温?br />
8.氣體流量:手動(dòng)調(diào)節(jié)
9.控制:觸屏控制
10.外形尺寸:260mm*410mm*343mm(寬*深*高)
11.重量:10KG
12.真空泵:VRD-8
全自動(dòng)離子濺射儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
1、人性化設(shè)計(jì),儀器操作簡(jiǎn)單,一鍵鍍膜。
2、儀器小巧,不占空間,適用于實(shí)驗(yàn)室、科研院所等。
3、鍍膜均勻細(xì)密,適用于多種靶材。
4、樣品臺(tái)可以快速調(diào)節(jié),方便取放樣品。
5、儀器性能可靠,設(shè)有多重安全保護(hù)機(jī)制。