小型真空等離子清洗機(jī)表面處理設(shè)備，它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，在極短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物就被外接真空泵*抽走，其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。小型真空等離子清洗機(jī)既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，也能對(duì)樣品進(jìn)行消毒和殺菌。
小型真空等離子清洗機(jī)安裝時(shí)應(yīng)遵循下列步驟：
1、連接好等離子清洗機(jī)與真空泵之間的真空管路，緊固好O型卡和鎖緊帽，做到連接處密封且不漏氣。
2、接通供電電源和真空泵電源，在此之前檢查所有按鈕必須處于復(fù)位狀態(tài)，同時(shí)檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機(jī)箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險(xiǎn)動(dòng)作。
3、第一次開(kāi)機(jī)，不做其它操作，直接打開(kāi)機(jī)體上紅色電源開(kāi)關(guān)、真空泵開(kāi)關(guān)，輕輕推關(guān)腔門(mén)，然后按綠色啟動(dòng)鍵抽真空，目的是去潮除濕，同時(shí)檢查是否有漏氣部位：聽(tīng)漏氣聲響；拉動(dòng)真空倉(cāng)門(mén)是否密封；觀察壓力表到達(dá)-100Kpa左右；若無(wú)上述狀況即為正常
4、
A、打開(kāi)電源，先在顯示屏里設(shè)定清洗時(shí)間；
B、將托盤(pán)承載的產(chǎn)品放入反應(yīng)室內(nèi)；
C、輕推反應(yīng)腔門(mén)，按面板上綠色啟動(dòng)開(kāi)關(guān)，真空泵開(kāi)始工作。
D、壓力表真空值-101KPa左右，看到離子輝光放電現(xiàn)象，進(jìn)入處理狀態(tài)；同時(shí)可設(shè)定功率大小、反應(yīng)氣體注入量；（反應(yīng)氣體是根據(jù)工藝需求選配，不使用時(shí)鎖緊關(guān)閉，）
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